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低温泵

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力低、抽气速率大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

抽气原理

在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。

温度为20K时，除氦、***和氢外，其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20K时，泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。  

类型

低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。①注入式液氦低温泵：主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。

生产管理的水平决定了企业整体管理水平，企业管理者应通过多种途径，提高企业的生产管理水平，追求低耗、均衡、安全的目标。对于真空设备制造企业来说，管理者要转变观念，加强制度建设，以“标准化良好行为企业”创建活动为契机，一手抓产品营销，一手抓生产管理，提高企业的生产效率。企业生产现场管理工作没有强调现场意识和作业标准化，完全依靠现场管理人员的管理能力与责任心，至使生产现场产生管理不到位、员工工作不积极、生产流程标准不统一、物流信息不准确等诸多问题。在制度化建设的过程中，要特别重视生产现场管理制度的建设、实施与完善，同时注意引入激励制度，让员工也参与到生产现场的管理中来，鼓励他们发现问题并提出建设性的改善方案，形成管理的良性互动。