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吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。时沿装饰领域的应用，如各种全反射膜及半透明膜等，如手机外壳，鼠标等。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时，水的蒸气压已低于10-8帕。

沈阳诺思真空技术有限公司严格按照ISO9001质量认证体系运行，并拥有健全的售后服务体系，坚持为用户提供***的产品和服务。多年来我们同***各高等院校及科研院所密切合作，共同开发研制出了一批高技术装备。

由于国内真空设备市场较为混乱、无序竞争严重,企业在产品价格上更是互相倾轧,经常出现中标价低于成本价,很多企业处于亏损或亏损的边缘。但是，温度的控制在当今各个领域都得以深入应用，且具有积极的意义。因此,中国真空设备行业要想生存与发展,必须从多方面入手,而在当前***化背景下,企业积极“走出去”,努力开拓国际市场,甚至在国外投资设厂,确立国际化发展战略,不失为一个很好的选择。

真空系统包括机械泵、低温泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、以及检测真空度的真空计。

相比较原来常用的机械油泵，可以***油泵中的油气进入真空室，污染基片，降低薄膜与基片的附着力。通常在干泵抽到6.5Pa以下后，再打开闸板阀，用低温泵抽高真空，低温泵的特点是抽速大，尤其是除水蒸汽的能力非常强。

溅射镀膜系统由直流电源、靶材、冷却水、永磁铁、基片加热装置、挡板、屏蔽层等组成。这是磁控溅射台的***部分。

基片加热装置能除掉基片上的水蒸气等杂质，可以提高薄膜与基片的附着力，另外对于某些金属，合适的温度能提高薄膜的质量。